三、本要點用語定義如下：
（一）潔淨區（Clean Zone）：空氣中粒子濃度控制符合國際標準組織（
International Organization for Standardization）第 14644
號規範等級 1（Class 1） 至等級 9（Class 9） 之區域（潔淨區
型式及示意圖，如附圖一至四）。
（二）潔淨室（Cleanroom） ：潔淨區內設置主要生產機臺與其附屬設備
之區域。
（三）上回風層（Air Plenum）：潔淨室上方層。
（四）下回風層（Return Air Plenum） ：潔淨室下方層。
（五）回風豎井（Return Air Shaft）：維持潔淨空氣所需循環氣流之垂
直通道。
（六）冷卻乾盤管（Dry Cooling Coil）：調整、控制循環氣流溫度及濕
度之設備。
（七）格子樓板（Waffle Slab） ：為達潔淨區氣流循環目的而具開口之
樓板。
（八）風機過濾機組（Fan Filter Unit） ：高效空氣過濾器或超高效空
氣過濾器與風機組合，提供空氣淨化的末端裝置。
（九）氣淋室（Air Shower）：利用高速潔淨氣流吹落並清除進入潔淨室
人員、物料表面附著粒子之區域。
（十）管橋（Bridge）：潔淨區內或連接潔淨區因應生產製造作業連續性
（人員、物料、中間產品、再製品）之需，連通兩棟建築物之通道
。
（十一）自動物料搬運系統（Automated Material Handling System）：
潔淨區內生產製程機臺間之運輸系統，利用系統之軌道（Railw-
ay）、升降設備（Clean Lifter）將物料儲放於儲料設備（Sto-
cker）或塔式儲料設備（Tower Stocker） 內。